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材料分析儀

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產(chǎn)品系列
材料熱特性系列
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薄膜綜合物性分析測(cè)試系統(tǒng)

型號(hào)：MPPS-3
應(yīng)用領(lǐng)域：
薄膜綜合物性分析測(cè)試系統(tǒng)能方便快捷地測(cè)試多種薄膜樣品的多個(gè)物理性能，且結(jié)果非常具有可比性，可以避免因樣品尺寸、組成或加熱條件等不同環(huán)境條件造成的誤差。同時(shí)，模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)可根據(jù)實(shí)際的測(cè)試需求選配部分模塊，并且可以隨時(shí)添加模塊以實(shí)現(xiàn)更多的功能。 薄膜綜合物性分析測(cè)試系統(tǒng)可應(yīng)用于測(cè)量具有金屬性質(zhì)及陶瓷或有機(jī)物的樣品。因此可適用于不同的鍍膜方法，例如PVD，CVD或旋涂等。
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技術(shù)參數(shù)

模塊選擇

·相變單元
包含高性能的加熱及控制系統(tǒng)、送樣組件和適用的軟件系統(tǒng)。該模塊用于測(cè)量以下參數(shù)：相變溫度
·熱膨脹單元
采用PID調(diào)節(jié)與模糊控制相結(jié)合形式控制的紅外加熱方式。該模塊用于測(cè)量以下參數(shù)：熱膨脹系數(shù)
·熱導(dǎo)率單元
采用3ω測(cè)試方法，利用微/納米薄膜材料導(dǎo)熱引起加熱器電信號(hào)的變化來(lái)檢測(cè)其熱導(dǎo)率。該模塊用于測(cè)量
以下參數(shù)： 熱導(dǎo)率
·熱電單元
采用動(dòng)態(tài)法和四線發(fā)分別測(cè)量樣品。該模塊用于測(cè)量以下參數(shù)：Seebeck系數(shù)、電阻率
·霍爾效應(yīng)單元
采用范德堡法測(cè)量材料的電運(yùn)輸性能參數(shù)。該模塊用于測(cè)量以下參數(shù)：霍爾系數(shù)、遷移率、載流子濃度
·變溫電阻單元
采用雙電發(fā)測(cè)量高溫、真空、氣氛條件下樣品。該模塊用于測(cè)量以下參數(shù)：電阻、電阻率