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材料分析儀

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產(chǎn)品系列
高溫系列
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快速退火爐 耗材

型號(hào)：石英樣品托架
應(yīng)用領(lǐng)域：
采用高純度石英砂（99.95%）精密制造，高溫環(huán)境下仍可保持穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)。用于承載石墨托盤，也可以直接承載晶圓。
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技術(shù)參數(shù)
·除標(biāo)準(zhǔn)尺寸外，還可定制用于異形樣品的石英托盤；
· 除適用于本設(shè)備外，還可深度定制適用于友商RTP設(shè)備的石英托架/盤