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工業(yè)

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多晶硅還原爐測(cè)溫

針對(duì)多晶硅還原爐內(nèi)硅材料、硅化合物對(duì)紅外線吸收的問(wèn)題,以及觀察窗上可能存在的無(wú)定型硅和硅油對(duì)紅外線能量的衰減問(wèn)題,使用雷泰(RAYTEK)專用Endurance雙色測(cè)溫儀。該采用雙波長(zhǎng)設(shè)計(jì),通過(guò)接收兩個(gè)相鄰波長(zhǎng)的紅外能量做對(duì)比,能有效的抗擊干擾,精確的反應(yīng)硅棒的溫度。

雷泰(RAYTEK)Endurance雙色測(cè)溫儀能自適應(yīng)硅棒直徑的變化,高精度、高重復(fù)性的接收硅材料的熱輻射,以適應(yīng)硅棒直徑大范圍變化的狀態(tài)。

鑒于工藝現(xiàn)場(chǎng)可能存在的氫氣泄露,雷泰(RAYTEK)紅外測(cè)溫儀采用了防爆保護(hù)套,達(dá)到Exid II CT6防護(hù)等級(jí),以適合現(xiàn)場(chǎng)防爆的工藝環(huán)境,并且還能有效隔絕現(xiàn)場(chǎng)電磁干擾。

1) 采用目鏡一體式方案,具有良好的防爆、抗干擾能力。

2) 針對(duì)氫還原爐觀察窗特點(diǎn),選用較大光學(xué)鏡頭的探頭,探頭進(jìn)光量大,可最大限度吸收紅外能量,測(cè)量準(zhǔn)確。

3) 采用雙波長(zhǎng)設(shè)計(jì),只需要5%的能量到達(dá)探頭就可以準(zhǔn)確的測(cè)量溫度。能有效的消除硅棒、硅化合氣體,觀察窗污漬對(duì)測(cè)溫的干擾,保證測(cè)溫準(zhǔn)確性。

4) 采用0.75~1/0.95~1.1微米的雙比色波長(zhǎng),不但完全響應(yīng)多晶硅的輻射波長(zhǎng)(0.9~1.1),而且能有效的消除水和玻璃對(duì)紅外線的阻擋。

5) 獨(dú)特的“臟鏡頭”功能,能實(shí)時(shí)顯示探頭和硅棒之間被干擾和阻擋的情況,比如觀察窗玻璃鏡片上有污漬。

6) 獨(dú)特的自適應(yīng)功能(焦距自動(dòng)調(diào)整),不管是5mm的芯棒,還是200mm的成品,均能準(zhǔn)確的測(cè)量其溫度。

7) 目鏡式測(cè)溫系統(tǒng)采用窄視場(chǎng)設(shè)計(jì),能將能量接受面聚焦在硅棒上,避免環(huán)境溫度和熱場(chǎng)變化對(duì)溫度測(cè)量的干擾。

8) 通過(guò)專用的分析記錄軟件,能遠(yuǎn)程對(duì)探頭進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控、管理和參數(shù)設(shè)置,每個(gè)網(wǎng)絡(luò)最大支持32個(gè)探頭。并能生成溫度曲線,和歷史記錄,對(duì)設(shè)定溫度進(jìn)行報(bào)警顯示。

9) 目鏡/激光瞄準(zhǔn)型探頭防爆保護(hù)套采取防爆設(shè)計(jì),達(dá)到Ex id II CT6防護(hù)等級(jí)。

10) 提供標(biāo)準(zhǔn)的420mA020mA)信號(hào),方便的接入現(xiàn)場(chǎng)DCS系統(tǒng),并提供485數(shù)字接口,能遠(yuǎn)程進(jìn)行管理。